六氟化硫（sf6）作为一种应用广泛的绝缘介质，也存在一些问题。sf6作为一种绝缘介质，与气体的含水量，即微水含量密切相关。

在电弧电晕作用下，SF6与水反应生成强腐蚀性HF物质和剧毒氟化物，危及设备和人员的安全，严重时可能发生爆炸事故。

当设备内SF6气体湿度过高，绝缘子表面为液体时，绝缘子表面放电电压降低，也会降低设备内部绝缘。

除湿度外，在用设备的绝缘还与温度、压力等其他参数有关。设备的绝缘等级也在不同压力下测量的相同湿度值下变化。

微气态水试验有两个主要标准：

六氟化硫（20℃，0.1013MPa）微水试验标准

①断路器灭弧室空气室：再次充气后不大于150ppm，运行时不大于300ppm；

②无弧分解室：充填后不大于250ppm，运行时不大于500ppm。

六氟化硫装置的主要水源为：

1. 新鲜六氟化硫气体中的水

2. 设备组装过程中进水

3. 固体绝缘物体释放的水分

4. 操作时，水进入密封

5. 补气进水，运行中多次试验

6. 气室吸附剂不起作用，因此对吸附剂的含量检测和湿度控制对安全供电和供水非常重要。