混合气体 乙硼烷混合气 B2H6 Mix 四氟化碳混合气 CF4 Mix 磷烷混合气 PH3 Mix 硅烷混合气 SiH4 Mix 乙硅烷混合气 Si2H6 Mix 氧气混合气 O2 Mix 锗烷混合气 GeH4 Mix 乙烯混合气 C2H4 Mix
