电子气体 六氟丁二烯 C4F6 砷烷 AsH3 磷烷 PH3 四氟化硅 SiF4 三氯化硼 BCl3 三氟化硼 BF3 氯气 Cl2 四氟化碳 CF4 六氟化硫 SF6 乙烯 C2H4 溴化氢 HBr 氯化氢 HCl
