砷烷
产品介绍
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入等工序
产品中文名:砷烷
产品英文名:Arsenic Hydride
化学式:AsH3
CAS号:7784-42-1
UN 号:2188
纯度:99.9999%
阀门型号:DISS632
砷烷
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入等工序
产品中文名:砷烷
产品英文名:Arsenic Hydride
化学式:AsH3
CAS号:7784-42-1
UN 号:2188
纯度:99.9999%
阀门型号:DISS632