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砷烷

产品介绍

产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入等工序

产品中文名:砷烷

产品英文名:Arsenic Hydride

化学式:AsH3

CAS号:7784-42-1

UN 号:2188

纯度:99.9999%

阀门型号:DISS632


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