磷烷
产品介绍
产品主要作用：用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入等工序
产品中文名：磷烷
产品英文名：Phosphine
化学式：PH3
CAS号：7803-51-2
UN 号：2199
纯度：99.9999%
阀门型号：DISS632
服务热线
18837932833
18837932833/15893900103
18837932833/15893900103
磷烷
产品主要作用：用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入等工序
产品中文名：磷烷
产品英文名：Phosphine
化学式：PH3
CAS号：7803-51-2
UN 号：2199
纯度：99.9999%
阀门型号：DISS632