四氯化硅
产品介绍
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积工序
产品中文名:四氯化硅
产品英文名:Silicon Tetrachloride
化学式:SiCl4
CAS号:10026-04-7
UN 号:1818
纯度:99.9999%
阀门型号:1/4VCR/1/2VCR
四氯化硅
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积工序
产品中文名:四氯化硅
产品英文名:Silicon Tetrachloride
化学式:SiCl4
CAS号:10026-04-7
UN 号:1818
纯度:99.9999%
阀门型号:1/4VCR/1/2VCR