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硅烷

产品介绍

产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积等工序

产品中文名:硅烷

产品英文名:Silane

化学式:SiH4

CAS号:7803-62-5

UN 号:2203

纯度: 99.9999%

阀门型号:CGA350/DISS632


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