高纯气体 三氟化硼 BF3 三氯化硼 BCl3 溴化氢 HBr 氯化氢 HCl 四氟化硅 SiF4 氯气 Cl2 四氟化碳 CF4 三氟甲烷 CHF3 六氟乙烷 C2F6 八氟环丁烷 C4F8 六氟化硫 SF6 二氟甲烷 CH2F2
