四氟化碳
产品介绍
产品主要作用:用于等离子干刻工序;在很低温度下作为低温流体用;也用于中性及惰性气体
产品中文名:四氟化碳
产品英文名:Tetrafluoromethane
化学式:CF4
CAS号:75-73-0
UN 号:1982
纯度:99.999%
阀门型号:CGA580/DISS716
四氟化碳
产品主要作用:用于等离子干刻工序;在很低温度下作为低温流体用;也用于中性及惰性气体
产品中文名:四氟化碳
产品英文名:Tetrafluoromethane
化学式:CF4
CAS号:75-73-0
UN 号:1982
纯度:99.999%
阀门型号:CGA580/DISS716