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四氟化碳

产品介绍

产品主要作用:用于等离子干刻工序;在很低温度下作为低温流体用;也用于中性及惰性气体

产品中文名:四氟化碳

产品英文名:Tetrafluoromethane

化学式:CF4

CAS号:75-73-0

UN 号:1982

纯度:99.999%

阀门型号:CGA580/DISS716


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