氮气
产品介绍
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻、退火、搭接、烧结等工序
产品中文名:氮气
产品英文名:Nitrogen
化学式:N2
CAS号:7727-37-9
UN 号:1066
纯度:99.9999%
阀门型号:CGA580
氮气
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻、退火、搭接、烧结等工序
产品中文名:氮气
产品英文名:Nitrogen
化学式:N2
CAS号:7727-37-9
UN 号:1066
纯度:99.9999%
阀门型号:CGA580