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氮气

产品介绍

产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻、退火、搭接、烧结等工序

产品中文名:氮气

产品英文名:Nitrogen

化学式:N2

CAS号:7727-37-9

UN 号:1066

纯度:99.9999%

阀门型号:CGA580


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