产品主要作用：用作标准气、零点气、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、热氧化、外延、扩散、氮化、喷射、等离子干刻、载流、退火、搭接、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢

产品中文名：氩气

产品英文名：Argon

化学式：Ar

CAS号：7440-37-1

UN 号：1006

纯度：99.999% 和99.9999% 

阀门型号：CGA580/CGA350