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三氯氢硅

产品介绍

产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积工序

产品中文名:三氯氢硅

产品英文名:Trichlorosilane

化学式:SiHCl3

CAS号:10025-78-2

UN 号:1295

纯度:99.999%

阀门型号:1/4VCR/1/2VCR


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