三氯氢硅
产品介绍
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积工序
产品中文名:三氯氢硅
产品英文名:Trichlorosilane
化学式:SiHCl3
CAS号:10025-78-2
UN 号:1295
纯度: 99.999%
阀门型号:1/4VCR/1/2VCR
三氯氢硅
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积工序
产品中文名:三氯氢硅
产品英文名:Trichlorosilane
化学式:SiHCl3
CAS号:10025-78-2
UN 号:1295
纯度: 99.999%
阀门型号:1/4VCR/1/2VCR