产品中心 乙硼烷混合气 B2H6 Mix 四氟化碳混合气 CF4 Mix 磷烷混合气 PH3 Mix 硅烷混合气 SiH4 Mix 乙硅烷混合气 Si2H6 Mix 氧气混合气 O2 Mix 锗烷混合气 GeH4 Mix 乙烯混合气 C2H4 Mix 四氟化硅 SiF4 氯气 Cl2 四氟化碳 CF4 三氟甲烷 CHF3