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二氯二氢硅

产品介绍

产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积工序

产品中文名:二氯二氢硅

产品英文名:Dichlorosilane

化学式:SiH2Cl2

CAS号:4109-96-0

UN 号:2189

纯度:  99.99%和99.999%

阀门型号:CGA678


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