二氯二氢硅
产品介绍
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积工序
产品中文名:二氯二氢硅
产品英文名:Dichlorosilane
化学式:SiH2Cl2
CAS号:4109-96-0
UN 号:2189
纯度: 99.99%和99.999%
阀门型号:CGA678
二氯二氢硅
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积工序
产品中文名:二氯二氢硅
产品英文名:Dichlorosilane
化学式:SiH2Cl2
CAS号:4109-96-0
UN 号:2189
纯度: 99.99%和99.999%
阀门型号:CGA678