SDS磷烷
产品介绍
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入等工序
产品中文名:SDS磷烷
产品英文名:Phosphine
化学式:PH3
CAS号:7803-51-2
UN 号:2199
纯度:>99.9999%
阀门型号:1/4VCR/1/2VCR
SDS磷烷
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入等工序
产品中文名:SDS磷烷
产品英文名:Phosphine
化学式:PH3
CAS号:7803-51-2
UN 号:2199
纯度:>99.9999%
阀门型号:1/4VCR/1/2VCR