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SDS磷烷

产品介绍

产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入等工序

产品中文名:SDS磷烷

产品英文名:Phosphine

化学式:PH3

CAS号:7803-51-2

UN 号:2199

纯度:>99.9999%

阀门型号:1/4VCR/1/2VCR


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