氩气
产品介绍
纯度:99.9999% 和 99.999%
阀门规格:CGA580/CGA350
主要作用:用作标准气、零点气、平衡气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、热氧化、外延、扩散、氮化、喷射、等离子干刻、载流、退火、搭接、烧结等工序;特种混合气与工业混合气也使用氢
氩气
纯度:99.9999% 和 99.999%
阀门规格:CGA580/CGA350
主要作用:用作标准气、零点气、平衡气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、热氧化、外延、扩散、氮化、喷射、等离子干刻、载流、退火、搭接、烧结等工序;特种混合气与工业混合气也使用氢