硅烷
产品介绍
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积等工序
产品中文名:硅烷
产品英文名:Silane
化学式:SiH4
CAS号:7803-62-5
UN 号:2203
纯度:99.9999%
阀门型号:CGA350/DISS632
硅烷
产品主要作用:用于半导体器件制备工艺中外延、化学气相淀积等工序
产品中文名:硅烷
产品英文名:Silane
化学式:SiH4
CAS号:7803-62-5
UN 号:2203
纯度:99.9999%
阀门型号:CGA350/DISS632