高纯气体 乙烯 C2H4 丙烷 C3H8 氟化氢 HF 氨气 NH3 笑气 N2O 三氟化氮 NF3 硅烷 SiH4 四氯化硅 SiCl4 三氯氢硅 SiHCl3 二氯氢硅 SiH2Cl2 氮气 N2 氧气 O2
