电子气体 氨气 NH3 笑气 N2O 硅烷 SiH4 四氯化硅 SiCl4 三氯氢硅 SiHCl3 二氯二氢硅 SiH2Cl2 氩气 Ar 氦气 He 三氟甲烷 CHF3 六氟乙烷 C2F6 八氟环丁烷 C4F8 一氟甲烷 CH3F
